研究トピックス

2025.09.02

次世代パワー半導体の制御技術開発に成功 ~イオン注入と熱処理により従来法の2倍の電流を実現~

研究トピックス

2025.08.20

世界初成功!ハロゲンフリーのプラズマプロセスで 次世代半導体材料を原子レベルで微細に加工・制御

研究トピックス

2024.08.29

半導体の微細加工ダメージを診る -プラズマ加工による劣化を定量評価-

研究トピックス

2024.01.05

プラズマ照射で農薬を使用せず栽培溶液を"その場殺菌" ~低環境負荷技術を通じた食料安全保障への貢献に期待~

研究トピックス

2023.10.17

低温プラズマ処理による酒米収量・品質の向上 〜「ICT×プラズマ」を用いたスマート先進農業へ向けて〜

研究トピックス

2023.03.24

がんの早期発見に向けて革新的なCTC/CAF検出ガラスデバイスを開発

研究トピックス

2023.01.20

蒸気プラズマによる金属炭化物のドライエッチングに成功 ~シリコン半導体集積回路材料の最先端微細加工技術を実現~

NEWS・トピックス

2021.05.19

プラズマ活性化乳酸リンゲル液が悪性中皮腫細胞を特異的に殺傷することを発見

NEWS・トピックス

2021.04.06

プラズマ活性溶液に関する国際共著review論文を公表

NEWS・トピックス

2021.03.16

微小な腹膜播種に対するプラズマ活性溶液の有効性を前臨床試験にて実証!

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