カーボンニュートラル、
水素社会、SDGsに貢献　
～プラズマとDX～

DXを適用してプラズマプロセスを
産業へいち早く展開
プラズマによるイノベーションを興し、
新たな産業の発展を促進

1. 1 低温プラズマ科学とともにグリーン水素社会を実現

   日本政府が掲げる『グリーン成長戦略』の政策にある燃料アンモニア、水素、自動車・蓄電池、半導体・情報通信、食料・農林水、航空機、資源循環関連など将来の産業の発展と地球環境の保全の達成にプラズマ技術の貢献が期待されています。

2. 2 プラズマプロセスの革新・反応制御の科学的アプローチ

   最先端の半導体大規模集積回路の製造技術の開発では、試行錯誤によってエネルギー、資源、労力が浪費され、開発時間の短縮が課題です。プラズマと物質との複雑な物理化学反応を制御する科学的なアプローチによって解決が期待されます。

3. 3 データ集積とAIの活用・自律的に制御するシステム

   プラズマの複雑な現象をモニタリングしながら、プラズマの科学的な理解を深めること、データの集積とAIの活用によって最適なパラメーターを探索すること、これら両者を融合かつ相補的に活用するプラズマプロセス開発の羅針盤を構築しています。

プラズマとは？

固体や液体、気体に続く、物質の状態を示す用語の一つで、電子やイオン、反応活性な粒子から構成され、電子だけが高温となるものを「低温プラズマ」と呼びます。