基本理念

本コンソーシアムは、将来の産業と地球環境や持続可能な暮らしの鍵を握る先進プラズマプロセス科学を深化させると共に、各分野との融合により、その未知数の可能性を探り、新しいプラズマプロセス技術の創製によって、新しい価値を創出し、産業を通じて人類の永続的発展に貢献することをめざし、また参加する個々のチカラを高め合うことを目的としています。

設立趣旨

1970年代の後半から半導体プロセスの開発にプラズマが導入されて以来、現在では、大規模集積回路製造の80%でプラズマが使用されています。これにより驚異的な微細化の推進と高性能材料の実現、そして3次元化をはじめ高精度な加工を実現してきたことは周知なことです。また、身の回りのあらゆる製品も、その製造にプラズマプロセスが導入されて、高性能、高生産性を実現しています。プラズマは、未来の社会を創造する無限の可能性を感じさせつつも、なかなか思うように現象の解明ができないまま、先進プラズマプロセスの開発が進んでいます。また、プラズマに魅了された研究者、技術者、学生たちは、新たな可能性や技術の発見および原理の探求に向けて、日々プラズマに向き合っています。このような多様な方々のプラズマ研究開発に取り組むエネルギーが共鳴することで、デジタルトランスフォーメーション(DX)、カーボンニュートラル、先端医療など、あらゆる未来技術を創り出すことができます。
最近では、デジタル化の大黒柱として半導体が注目を集めており、先進半導体を産みだすプラズマプロセスのさらなる進化が必要になっています。
一方で、プラズマプロセスをより理解し原理を習得・活用するためには、電子工学、量子力学、電磁気学、材料科学、化学工学、高分子工学、機械工学、情報科学、生化学や人文系科学などが融合した学際領域にまたがった研究が必要であり、広い学問領域の知識や考え方を身に着けた人材の育成も必要です。
名古屋大学低温プラズマ科学研究センターは、半導体プラズマプロセスの研究開発を先導できる、世界でただ一つのアカデミアの拠点として、先進プラズマプロセスの研究とそれを担う人材育成のための教育拠点としても、その機能を発揮しています。

本センターでは、プラズマが進化してきた半導体プロセスを土台にして、その原理の習熟や技術に関する先端情報の取得のみならず、歴史やプラズマを取り巻く現状の社会や未来動向を展望する機会の場を提供したいと思います。そのために、先進半導体プラズマプロセスコンソーシアムを設立しました。
本コンソーシアムでは、個人個人が、気楽に、自由にプラズマを学べるモーニングサービスを毎月第2土曜日に届けることで、プラズマに興味を持つ皆様方の活力高揚のお力になりたいと思います。

サタデーモーニングプラズマ講座の開催予定~明日のプラズマプロセスイノベーションのためのモーニングサービス!~
10月9日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「プラズマが衝く~半導体プロセスの40年~」

講師:石川 健治(cLPS)
モデレータ: 堀 勝(cLPS)

11月13日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「どうするプラズマ~これからの半導体プロセス~」

講師:石川 健治(cLPS)
モデレータ: 堀 勝(cLPS)

12月11日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「エッチング用プラズマ源の変遷
~過去を紐解き未来に繋げる~」

講師:前田 賢治(株式会社日立ハイテク)
モデレータ: 石川 健治(cLPS)

1月8日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「Innovation for the resilient and
sustainable society」

瀬川 澄江(東京エレクトロン株式会社)
モデレータ:堀 勝(cLPS)

2月12日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「Never can you have too big a dream.」

講師:小池 淳義(ウエスタンデジタルジャパン)
モデレータ: 長谷川 功宏(cLPS)

3月12日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「我が国の半導体・デジタル産業戦略について」

講師:西川 和見(経済産業省)
モデレータ: 堀 勝(cLPS)

4月9日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「今()そこにある危機!」

講師:辻村 学(株式会社荏原製作所)
モデレータ: 関根 誠(cLPS)

5月14日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

「次世代コンピューティング
=デバイスサイエンス×コンピュータサイエンス
~超伝導コンピューティングの場合〜」

講師:井上 弘士(九州大学)、田中 雅光(名古屋大学)
モデレータ: 石川 健治(cLPS)

6月11日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

半導体デバイスの研究開発から製品化までに
必要な考えと今後の開発動向について
~プラズマ研究からSiCパワーデバイス、
パワエレ実用化の経験から~

講師:大森 達夫(三菱電機株式会社)
モデレータ: 関根 誠(cLPS)

7月9日(土)終了9時~10時詳細レポートはこちら

プラズマによる材料表面の機械的応答特性制御

講師:上坂 裕之(岐阜大学)
モデレータ: 豊田 浩孝(cLPS)

先進半導体プラズマプロセス
コンソーシアム 入会規程

この規程は、国立大学法人東海国立大学機構 名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター 先進半導体プラズマプロセスコンソーシアム(以下「本コンソーシアム」という。)の目的及び活動に賛同する会員に係る事項について定めます。

(会員)
第1条 会員は本コンソーシアムの目的及び活動に賛同して入会した個人とします。

(活動)
第2条 本コンソーシアムは、本コンソーシアムの目的を達成するため、次の各号の活動を行います。
    (1) 勉強会、講演会、セミナー等の開催
    (2) 本コンソーシアムにおける活動・成果の発信
    (3) その他、本コンソーシアムの目的を達成するための活動

(入会)
第3条 本コンソーシアムの会員になろうとする場合は、本コンソーシアムのホームページから入会登録を行うことにより会員になることができます。

(会員の資格喪失)
第4条 会員が次の各号の一に該当する場合には、その資格を喪失します。
    (1) 退会したとき。
    (2) 除名されたとき。
    (3) 本コンソーシアムが解散したとき。

(退会)
第5条 本コンソーシアムから退会する場合は、会員の意思により世話人へその旨を連絡することにより退会することが出来ます。
本規約を遵守しないとき又は本会員にふさわしくないと世話人が判断した場合、会長は当該会員を退会させることが出来ます。

(会費)
第6条 本コンソーシアムの会費は無料です。

(届出)
第7条 会員は、連絡先等に変更があったときは、遅滞なくその旨を届け出てください。

(会長)
第8条 本コンソーシアムの会長は、名古屋大学低温プラズマ科学研究センター 長であり、会長がコンソーシアムの会務を総括します。

(世話人)
第9条 本コンソーシアムを運営するため、世話人会を置きます。

(個人情報の取り扱い)
第10条 本コンソーシアムに提示された個人情報は、世話人が管理し、本コンソーシアムの活動以外には使用せず、第三者へ提供しません。

第11条 個人情報の開示・訂正・削除は随時受付けます。

(その他)
第12条 本規約の改廃は、世話人の議を経て決定します。
本規約に定めのない事項又は本規約に関する疑義を生じたときは、世話人が協議し決定します。

世話人:堀 勝、石川 健治、関根 誠、長谷川 功宏
事務局:服部 昌祐、武田 万里恵
連絡先: caspp@plasma.engg.nagoya-u.ac.jp

以上

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