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第23回 2021年度までの受賞者
Plasma Materials Science Hall of Fame Prize
※この賞は、第22回の2020年度より設定されました。
特別部門賞
| 第1回 | 村山 洋一 (東洋大学) |
| 第2回 | 明石 和夫 (東京理科大学) |
| 第3回 | 穂積 啓一郎 (京都薬科大学) |
| 第4回 | 板谷 良平 (京都大学) |
| 第5回 | 岡崎 幸子 (上智大学) |
| 第6回 | 該当なし |
| 第7回 | 廣田 榮治 (総合研究大学院大学名誉教授) |
| 第8回 | 鯉沼 秀臣 (東京大学) |
| 第9回 | 佐藤 徳芳 (東北大学名誉教授) |
| 第10回 | 該当なし |
| 第11回 | 橘 邦英 (愛媛大学) |
| 第12回 | 松田 彰久 (大阪大学) |
| 第13回 | 葛谷 昌之 (松山大学) |
| 第14回 | 吉田 豊信 (東京大学) |
| 第15回 | 辻 理 (サムコ株式会社) |
| 第16回 | 高井 治 (関東学院大学) |
| 第17回 | 小田 哲治 (東京大学名誉教授) |
| 第18回 | 畠山 力三 (東北大学名誉教授) 藤山 寛 (長崎大学名誉教授) |
| 第19回 | 小駒 益弘 (上智大学名誉教授) |
| 第20回 | 水野 彰 (豊橋技術科学大学名誉教授) |
| 第21回 | 永津 雅章 (静岡大学) |
基礎部門賞
| 第1回 | 堀池 靖浩 (東京大学) 松田 彰久 (電子技術総合研究所) |
| 第2回 | 葛谷 昌之 (岐阜薬科大学) 橘 邦英 (京都大学) |
| 第3回 | 高井 治 (名古屋大学) |
| 第4回 | 田地 新一 (日立製作所) |
| 第5回 | 菅井 秀郎 (名古屋大学) |
| 第6回 | 吉田 豊信 (東京大学) |
| 第7回 | 渡辺 征夫 (九州大学名誉教授) |
| 第8回 | 河合 良信 (九州大学) |
| 第9回 | 河野 明廣 (名古屋大学) |
| 第10回 | 小田 哲治 (東京大学) |
| 第11回 | 藤山 寛 (長崎大学) |
| 第12回 | 水野 彰 (豊橋技術科学大学) |
| 第13回 | 秋山 秀典 (熊本大学) |
| 第14回 | 堀 勝 (名古屋大学) |
| 第15回 | 永津 雅章 (静岡大学) |
| 第16回 | 渡辺 隆行 (九州大学) |
| 第17回 | 白谷 正治 (九州大学) |
| 第18回 | 寺嶋 和夫 (東京大学) |
| 第19回 | 佐々木 浩一 (北海道大学) |
| 第20回 | 杤久保 文嘉 (首都大学東京) |
| 第21回 | 高木 浩一 (岩手大学) |
| 第22回 | 金子 俊郎 (東北大学) |
| 第23回 | 浜口 智志 (大阪大学) |
| 第24回 | 白藤 立 (大阪公立大学) |
技術部門賞
| 第1回 | 武田 紘一 (新日本製鐵) 鈴木 敬三 (日立製作所) |
| 第2回 | 篠原 己抜 (日本高周波) 辻 理 (サムコインターナショナル研究所) |
| 第3回 | 小牧 久 (日本電子) |
| 第4回 | ASETプラズマ技術研究室 |
| 第5回 | 該当なし |
| 第6回 | 河田 一喜 (オリエンタルエンヂニアリング) |
| 第7回 | 藤井 修逸 (株式会社アドテックプラズマテクノロジー) |
| 第8回 | 高塚 汎 (三菱重工) |
| 第9回 | 山崎 良、竹内 純一 (トーカロ)、 長山 将之、三橋 康至 (東京エレクトロンAT) |
| 第10回 | 湯浅 基和 (積水化学工業) |
| 第11回 | 中谷 達行 (トーヨーエイテック) |
| 第12回 | 市川 幸美 (富士電機ホールディングス) |
| 第13回 | 菊池 正志 (アルバック) |
| 第14回 | 宇山 晴夫 (凸版印刷) |
| 第15回 | 栗原 一彰 (東芝) |
| 第15回 | 西村 芳実 (栗田製作所) |
| 第16回 | 中川 行人 (キャノンアネルバ) |
| 第17回 | 山田 浩 (九州電通) 西川 和男 (シャープ) |
| 第18回 | 清水 史幸 (昭栄化学工業) |
| 第19回 | 松本 繁治 (シンクロン) 田 昭治 (片桐エンジニアリング) |
| 第20回 | 林 久貴 (東芝メモリ) 畑下 晶保、 辻岡 典洋、 村上 彰一 (SPPテクノロジー) |
| 第21回 | 黒岩 雅英 (東京電子) |
| 第22回 | 米澤 健、太田 裕己 (ケニックス株式会社) 辰巳 哲也 (ソニーセミコンダクタソリューション株式会社) |
| 第23回 | 守屋 剛 (東京エレクトロン株式会社) |
| 第24回 | 田中 暁巳 (竹内電機株式会社) 伊澤 勝 (株式会社 日立ハイテク) |
奨励部門賞
| 第1回 | 白谷 正治 (九州大学) |
| 第2回 | 関根 誠 (ASET) |
| 第3回 | 渡辺 隆行 (東京工業大学) |
| 第4回 | 松浦 孝 (東北大学) |
| 第5回 | 該当なし |
| 第6回 | 堀 勝 (名古屋大学) |
| 第7回 | 寺嶋 和夫 (東京大学) |
| 第8回 | 黒澤 茂 (産業技術総合研究所) |
| 第9回 | 井上 泰志 (名古屋大学) |
| 第10回 | 一木 隆範 (東京大学) |
| 第11回 | 白藤 立 (名古屋大学) |
| 第12回 | 節原 裕一 (大阪大学) |
| 第13回 | 八田 章光 (高知工科大学) |
| 第14回 | 野崎 智洋 (東京工業大学) |
| 第15回 | 板垣 奈穂 (九州大学) |
| 第16回 | 田中 康規 (金沢大学) 金子 俊郎 (東北大学) |
| 第17回 | 杤久保文嘉 (首都大学東京) 神原 淳 (東京大学) |
| 第18回 | 酒井 道 (滋賀県立大学) |
| 第19回 | 金 賢夏 (産業技術総合研究所) 小野 亮 (東京大学) |
| 第20回 | 茂田 正哉 (大阪大学) 清水 鉄司 (産業技術総合研究所) |
| 第21回 | 神野 雅文 (愛媛大学) 古閑 一憲 (九州大学) |
| 第22回 | 伊藤 剛仁 (東京大学) 布村 正太 (産業技術総合研究所 電子光基礎技術研究部門) |
| 第23回 | 田中 宏昌 (名古屋大学) 富田 健太郎（北海道大学） |
| 第24回 | 加藤 俊顕 (東北大学) 大島 多美子 (佐世保工業高等専門学校) |
